高效電池智造裝備
ALD上下料機
產(chǎn)品特點(diǎn)
最高產(chǎn)能可達到16000pcs/h
可根據客戶(hù)需求進(jìn)行配置
特制精密陶瓷吸盤(pán),陶瓷頂齒，陶瓷側齒，減少硅片劃傷，保證設備的穩定性
| ALD上下料機技術(shù)參數 | |
|---|---|
| 技術(shù)參數 | 相關(guān)參數 |
| 產(chǎn)能 | 8000/11000/16000 pcs/h |
| 金屬舟規格 | 200槽 ，節距2.38mm |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 適用花籃 | 100 casstte |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 開(kāi)機率 | ≥98% |
| 耗氣量 | 1000L/min |
| 具體參數如有變動(dòng)，本公司不另行通知！ | |
